廠務系統有哪些
a,內裝修工程：（高架地板工程、潔凈室隔墻板系統、鋁合金龍骨吊頂/ceiling grid、無塵涂裝、環氧地坪等）、壓差控制系統、ESD防靜電等；
b,循環空調系統：（包括部分供熱與通風系統，比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、FCU、粗、中、高、超高過濾器、化學過濾器etc.、送氣風機、排氣風機 etc.）；
c,FOUNDATION：防震機座、粉塵監測智能系統/DMS系統、風淋室、傳遞窗、層流罩、潔凈工作臺、潔凈洗手器、潔凈衣架、潔凈電梯、正壓潔凈樓梯間系統、化學品儲存冷庫和壓縮機etc.
Mechanical System [ 機械系統 ]
中央動力，Central utility： Mechenical（熱水、冷凍水、軟水、工藝設備冷卻水PCW、生產上水、自來水﹑飲用水、一般蒸汽和潔凈蒸汽等管路供應系統；鍋爐、冷凍機、冷卻塔、空壓機等廠務設施）
Specialty Gas and Bulk Gas [ 特殊氣體和大宗氣體 ]
a,Bulk Gas： GAS YARD氣站， CQC（N2/H2/O2/Ar/He/天然氣）【包括普通和超純/精制氣體】，壓縮空氣（CDA）--有些FAB還將機臺用CDA和廠務設備用CDA供應系統分開，呼吸空氣供應系統等；
b,Specialty Gas System ( 部分特性有重迭 )：
（1）易燃性氣體(Flammable Gas)
（2）毒性氣體（Toxic Gas）
（3）腐蝕性氣體（Corrosive Gas）
（4）惰性氣體(Inert Gas)
（5）氧化性氣體（Oxide Gas）
（6）低壓/保溫氣體（Heat Gas)
Water Treatment System [ 水處理系統 ]
a,超純水供應系統、熱/溫純水供應系統、一次純水（RO水）供應系統 etc.
b,工藝廢水處理（酸、堿、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、溫排水、純水回收、一般排水、TMAH顯影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc. ）
c,辦公用給排水系統：飲用水供應、自來水供應、生活污水處理、雨水排放系統etc
Exhaust System[工藝排氣系統]
a,工廠SCRUBBER:酸、堿、有機VOC、粉塵、一般排氣etc.[有些FAB還包括了緊急排煙/事故排風系統]
b,LOCAL SCRUBBER（一般附屬于工藝設備）：依其原理大概可分成下列幾類 (1)電熱水洗式; (2)燃燒水洗式(3) 填充水洗式;(4)干式吸附式。純水設備
Chemical Dispensing System[化學品供應系統]
包括化學品供應系統和化學品回收系統，具體使用的化學品種類根據每個FAB產品的不同而不同:
a,Chemical Dispensing System化學品供應系統
酸性
堿性
有機溶劑
氧化腐蝕性
b,化學品回收系統：光刻膠resist、STRIPPER剝離液(EKC、SST-A2、ORP、N311、T106、PGMEA、PGME etc.)、異丙醇、硫酸廢液、硫酸銅廢液回收等
Vacuum System [ 真空系統 ]
真空系統包括工藝真空(Process Vacuum )、真空吸塵(Hose Vacuum)或者清掃用真空、設備真空Pumping-line/vent系統/Pumping-Exhaust系統。
Power Supply & Automation System [ 電力供應及自動化 ]
a,強電：高低壓供電（包括中央變電站和各終端變電站）、ups電源供應系統（蓄電池組）、緊急柴油發電機系統、SSTS高速切換開關、VSS電容補償系統等、各類配電盤、照明（包括tear drop淚滴型照明燈具、黃光燈）、插座；
b,弱電：各類動力、EHS方面的自控部分（包括各類弱電盤面）、FMCS廠務監控系統（包括各sub-scada系統），【監控方面還有氣體監控系統（GMS）、氣體偵測系統（GDS）、有的廠是GMS＋GDS＝FMCS、純水設備有的廠GMS和GDS會分開來的】、各類電氣接地、靜電防護系統etc.
Construction [ 建筑結構 ]
建筑結構相關(包含廠房維修)，主要分為建筑和結構兩大塊（有些FAB將EHS相關的防火門、逃生門、緊急疏散口、擋煙垂臂、升降平臺etc.也歸入此類）
EHS System Control [ 環境健康安全 ]
EHS涉及環境保護（污染物控制【三廢處理等】、有害物質控制【PFC、CFC、PFOS、ROHS指令等、WEEE等】）、健康（職業衛生）、工業安全、能源、治安保衛、ERC（ERT應急響應等）、風險管理【ISO14001、OHSAS18001、QC080000等】，EHS其它等。
硬件涉及：消火栓設備、噴淋系統、漏液檢測系統、門禁系統、電話廣播系統、PHS系統、緊急對講機系統，感溫電纜報警系統、vesda、煙感熱感探頭、閉路電視系統/CCTV監視攝像頭、消防與觀光電梯、地震監控系統、SCBA呼吸面具、緊急沖淋、各類滅火器、PPE個人防護用具etc.
Energy Saving[廠務節能]
涵蓋所有廠務系統的節能降耗、cost saving/cost down、VE提案、能源管理等純水設備，實驗室純水設備，無錫純水設備,無錫水處理設備，無錫去離子水設備, 醫用GMP純化水設備。
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